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照射激光的方法、激光照射系统和半导体器件的制造方法技术方案
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下载照射激光的方法、激光照射系统和半导体器件的制造方法的技术资料
文档序号:3209670
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一种激光照射系统,包含:第一激光振荡器,用于输出具有可见光的波长或者具有短于可见光的波长短的第一激光束;装置,用来在被照表面或它的附近将第一激光振荡器发射的第一激光束处理成长光束;第二激光振荡器,用于输出基波的第二激 ...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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