下载形成绝缘体上的应变硅(SSOI)的方法及其形成的结构的技术资料

文档序号:3209423

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种SOI(绝缘体上硅)结构与其制造方法,其中应变硅层(12)直接位于绝缘体层(14)上。该方法需要在应变诱发层(22)上形成硅层(12),其中应变诱发层(22)具有与硅不相同的晶格常数,使得由于与应变诱发层(22)之晶格失配而硅...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。