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形成绝缘体上的应变硅(SSOI)的方法及其形成的结构技术
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文档序号:3209423
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本发明提供一种SOI(绝缘体上硅)结构与其制造方法,其中应变硅层(12)直接位于绝缘体层(14)上。该方法需要在应变诱发层(22)上形成硅层(12),其中应变诱发层(22)具有与硅不相同的晶格常数,使得由于与应变诱发层(22)之晶格失配而硅...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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