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具有晶片映射功能的晶片处理设备制造技术
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下载具有晶片映射功能的晶片处理设备的技术资料
文档序号:3209282
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一种适于检测在容器中提供的具有放置晶片的搁板的支架的每个搁板上的晶片的晶片处理设备,该晶片处理设备包括: 能够被驱动装置沿所述支架的搁板移动的移动装置; 能够被所述移动装置沿所述支架的搁板移动的第一透射传感器,它包括彼此相对设置...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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