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一种基片传送装置，用于从基片容纳托盘中取出基片，基片容纳托盘以水平状态容纳基片，该基片传送装置包括：　　　　多个支撑销，用于将基片容纳托盘中所容纳的基片升起到该基片容纳托盘的上方，　　　　其中：　　　　基片容纳托盘包括多个开孔，多个支撑销能...
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