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一种用于检测交变移相掩膜中的相位和幅度误差的方法，此方法包括：　　　　让准直光束通过该移相掩膜中的一对相邻的移相开孔；　　　　记录通过所述此对相邻开孔的衍射光光束强度作为角位置函数；　　　　根据所述记录的光束强度来确定在其上出现第一衍射级和...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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