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恶劣环境下使用的雪崩光电二极管制造技术
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文档序号:3208938
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一种用于检测紫外光子的雪崩光电二极管,该雪崩光电二极管包括: 衬底(110),具有第一掺杂剂; 位于该衬底之上的第一层(111),其具有第一掺杂剂; 位于第一层之上的第二层(112),其具有第二掺杂剂; 位于第二层之...
该专利属于通用电气公司所有,仅供学习研究参考,未经过通用电气公司授权不得商用。
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