下载多级半导体结构中对准带帽金属线和互连的形成的技术资料

文档序号:3208932

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一种电迁移和扩散敏感金属的集成电路导电元件,该元件由保护帽覆盖,并且定位在介质的平整表面中的沟槽中,在所述沟槽中,由抗该电迁移和扩散敏感金属的外扩散的、并且作为所述帽材料的扩散源的材料构成的衬垫环绕所述导电元件的金属。...
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