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单片光电集成电路的调制掺杂闸流管和互补晶体管组合制造技术
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文档序号:3208904
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用彼此反转的二个调制掺杂的晶体管结构组成的外延层结构,在单片衬底(149)上得到了闸流管以及高速晶体管和光电子器件族。借助于对赝高电子迁移率晶体管(PHEMT)结构进行平面掺杂而得到这种晶体管结构。对于一种晶体管,加入了与PHEMT的调制掺...
该专利属于康涅狄格州大学所有,仅供学习研究参考,未经过康涅狄格州大学授权不得商用。
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