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本实用新型公开了一种低浓度腐蚀性气体动态配气系统，将待稀释的腐蚀性气体经减压阀减压后，到达压力调节器，经压力调节后到达电磁阀，通过电磁阀使气体进入音速喷嘴，通过音速喷嘴组合控制流量，并经背压阀进入混合室；稀释气体经减压阀减压后进入纯化器纯化...
该专利属于山东非金属材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东非金属材料研究所授权不得商用。

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