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太阳能电池中的双层减反射膜氧化钛/氧化钇退膜方法技术
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文档序号:3208643
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双层减反射膜氧化钛/氧化钇退膜方法,将双层减反射膜浸入酸后,再用水清洗,其特征在于退膜方法包括以下工艺过程: (1) 将有双层减反射膜氧化钛/氧化钇的电池浸入硫酸中退膜,然后,用去离子水冲洗; (2) 再浸入体积比HF∶H↓...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。
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