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薄膜晶体管用非晶硅的结晶方法技术
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文档序号:3208509
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一种用具有透射部的掩模使非晶硅半导体薄膜结晶的方法,该方法包括: 在一个衬底上方形成非晶硅半导体层; 在非晶硅半导体层上形成一个金属层; 对金属层构图暴露出一部分非晶硅半导体层; 将掩模设置在被金属层暴露出的那一部分...
该专利属于LG.菲利浦LCD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG.菲利浦LCD株式会社授权不得商用。
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