温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶片缺陷快速在线电光检测方法和系统，其特征在于，用一个来自一个重复脉冲激光器的短光脉冲照明一个带有显微光学系统的电光相机系统的视场，以及把一个运动的晶片成像到一个焦平面组件上，该焦平面组件用光学方法在光学成像系统的焦平面上形成一个光探测...
该专利属于内格夫技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内格夫技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。