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文档序号:32081207

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一种晶圆浮动压板,包括底座,所述底座顶部两端焊接立柱,所述立柱一端固定连接电动伸缩杆一端,所述电动伸缩杆另一端连接第一压板一端,所述第一压板另一端固定连接弹簧一端,所述弹簧另一端固定连接第二压板一端,所述第一压板两端开设螺栓槽,所述第二压板...
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