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一种光掩模，它具有形成在透光基板上的光掩模图案和所述透光基板上未形成所述光掩模图案的透光部分，其特征为：所述光掩模图案，具有通过曝光而被转移的主图案、让曝光光衍射且通过曝光却不转移的辅助图案；所述主图案，由具有让所述曝光光部 ...
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