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本发明提供一种用于制造被集成于半导体芯片中的螺线管电感器的手段。螺线管线圈被部分地嵌入一被蚀刻在芯片基板内的深井中。线圈未被嵌入的部分被制造当作后段制程（ＢＥＯＬ）金属化层的一部分。这允许螺线管线圈的大截面积区域，于是减少圈到圈的电容耦合。...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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