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一种容纳盘状物体且优选是半导体晶片以便进行热处理的装置能够非常简单但生产率高且损伤风险小地实现尤其是化合物型半导体晶片的处理，如果一个支座有至少两个分别用于容纳一物体的凹槽的话。在该支座上的这些凹槽最好可以用盖盖上。为了物体装卸，最好设置支...
该专利属于马特森热力产品有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过马特森热力产品有限责任公司授权不得商用。

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