下载掩埋磁隧道结存储器单元和方法的技术资料

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一种制作存储器单元的方法,该方法包括以下步骤:    a)提供衬底;    b)淀积第一金属层,和构图并腐蚀第一金属导体;    c)淀积、构图并腐蚀第一铁磁层;    d)淀积层间电介质(ILD);    e)以至少部分与第一金属导体对准...
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