下载一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构的技术资料

文档序号:32066970

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本实用新型公开了一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构,包括硅基体,在硅基体上依次铺设敏感单元层、Barber电极层和Set/Reset线圈层;其中在、Barber电极层与Set/Reset线圈层之间设置钝化层一,在Set/R...
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