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一种集成电路光刻设备的磁悬浮精密工件台，其特征在于采用相互独立的和基于闭环控制的电磁力和洛仑兹电机结构，主要包括由基座框架（１），电磁铁衔铁（２），工作台（３）、工作台与电磁铁衔铁的连接件（４）组成的机械部分，悬浮和驱动工作台的四对电磁铁（...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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