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本发明公开了利用激光在化学机械抛光垫上形成微孔，通孔或沟槽的方法。该方法包括以下步骤：确定要在抛光垫上形成的微孔，沟槽或通孔的图案；将确定的图案输入计算机数字控制器（ＣＮＣ）；在ＣＮＣ控制器基于输入图案的控制下，驱动辐射激光束的激光器以及进...
该专利属于株式会社SKC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社SKC授权不得商用。

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