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一种具有测试图案（ＴＰ）的模板（１６），用于测量投影光学系统（１７）的光学特征，具有能减少或者抑制在所述投影光学系统光瞳平面（１８）处的光谱的高频分量的图案。沿着一个方向或者多个方向将照射光投射在模板（１６）的测试图案上，检测由沿着多个方向...
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