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光及电可编程硅化多晶硅熔丝器件制造技术
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文档序号:3206488
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一种基于硅化多晶硅的熔丝器件,以光及电能量在多晶硅层中可编程,而不会破坏的临近结构,所述熔丝器件包括:Si衬底;设置在所述衬底上的绝缘层;以及熔丝器件部分,包括多晶Si/硅化物/以及阻挡层,该熔丝器件部分响应施加在其上的电脉冲或光脉冲,在多...
该专利属于印芬龙科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过印芬龙科技股份有限公司授权不得商用。
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