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一种闸极介电层的制作方法，包括：　　　　提供表面具有一原生氧化层的一半导体基底；　　　　实施一含氢气处理；　　　　沉积一氮化层于上述原生氧化层表面；　　　　实施一含氧氮气体处理；以及　　　　实施一退火处理。...
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