下载激光诱导下的氮化镓P型有效掺杂制备方法的技术资料

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激光诱导下的氮化镓P型有效掺杂制备方法,其特征在于其工艺步骤为:    1)、用溅射或者蒸发的方法在GaN样品表面淀积一层200~300nm厚的金属锌薄层;    2)、将Zn/GaN样品预加热到200~300℃;    3)、用固体激光器...
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