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本实用新型涉及多晶硅制备技术领域,公开了多晶硅型材制备节能装置,包括外筒,所述外筒的外壁设置有保温层,所述外筒的内壁固定连接有螺旋叶,所述螺旋叶的内壁固定连接有坩埚,所述坩埚的侧壁内部设置有加热器,所述坩埚的顶部固定连接有盖板,所述坩埚的底...该专利属于中国化学工程第六建设有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国化学工程第六建设有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及多晶硅制备技术领域,公开了多晶硅型材制备节能装置,包括外筒,所述外筒的外壁设置有保温层,所述外筒的内壁固定连接有螺旋叶,所述螺旋叶的内壁固定连接有坩埚,所述坩埚的侧壁内部设置有加热器,所述坩埚的顶部固定连接有盖板,所述坩埚的底...