下载金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构及其制作方法的技术资料

文档序号:3205802

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种金属-绝缘体-金属(MIM)电容器以及在集成电路(10)中制作这种结构的方法,采用沿着MIM电容器结构(12)中限定部位的一对腿(14)之间所确定的沟道(18)延伸的侧壁隔板(42)来改进MIM电容器结构(12)中的电容密度。每个腿(1...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。