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一种微位移放大机构,它涉及一种用压电陶瓷驱动的微位移放大机构。它由机构本体(1)、压电陶瓷(2)和预紧垫片(3)组成,压电陶瓷(2)和预紧垫片(3)均设置在机构本体(1)内,压电陶瓷(2)和预紧垫片(3)的内端面相互之间紧密接触,压电陶瓷(...该专利属于哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司;哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司;哈尔滨工业大学授权不得商用。