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提供了一种电容型动态量传感器，其能减小检测灵敏度的变化，没有其电极脱落或断开，并且在可靠性上极佳；并提供了其制造方法。在所述电容型动态量传感器中，其中要形成振荡器的半导体基片从其前后侧以高精度被加工以限定振荡器与电极待被叠放于其每个上的平的...
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