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本发明公开了一种更换用于在半导体衬底加工中使用的等离子体反应室的电极组合的方法。在一种电极组件中，支撑部件可以包括通过弹性接头结合到电极（如硅淋浴头式电极）上的石墨环。弹性接头使得在支撑部件与电极之间可以移动，来补偿由于电极组件的温度循环产...
该专利属于兰姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰姆研究公司授权不得商用。

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