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一种正型光致抗蚀剂组合物，是在一个基板上形成有集成电路和液晶显示部分的ＬＣＤ制造用正型光致抗蚀剂组合物，其中含有（Ａ）碱溶性树脂、（Ｂ）萘醌二叠氮基酯化物、（Ｃ）分子量为１０００以下的含酚性羟基化合物、以及（Ｄ）有机溶剂，（Ｂ）成分中含有上...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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