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一种减少石墨毡更换量降低单晶炉功耗的单晶炉热场制造技术
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下载一种减少石墨毡更换量降低单晶炉功耗的单晶炉热场的技术资料
文档序号:32048687
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本实用新型涉及一种减少石墨毡更换量降低单晶炉功耗的单晶炉热场,应用于单晶炉内,包括保温组件,保温组件内设有坩埚,坩埚外套设加热器,坩埚上方设导流筒,加热器通过电连接有石墨电极,还包括定位环,定位环设于保温组件的下端,保温组件包括双层保温筒及...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。
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