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本发明提供一种晶化方法、一种晶化设备、一种薄膜晶体管和一种显示设备，该晶化方法可以设计出在衬底的入射表面上优化的光强度和分布（ＢＰ）的激光束、形成所需的结晶结构同时抑制产生任何其它不需要的结构区域并满足低温处理的需要。当通过将激光束辐照至其...
该专利属于株式会社液晶先端技术开发中心所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社液晶先端技术开发中心授权不得商用。

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