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一种光电导型紫外探测器制造技术
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下载一种光电导型紫外探测器的技术资料
文档序号:3204632
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本发明的光导型紫外探测器自上而下依次由纯氧化镓滤光膜,铟镓氧化物紫外敏感膜,叉指电极和绝缘衬底迭置而成。该紫外探测器以纯氧化镓薄膜为滤光层,以铟镓氧化物为紫外敏感层,既可以滤去波长小于240nm的光,又使得探测器只对太阳盲区波长范围内的光波...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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