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一种晶棒快速生长用冷却装置以及单晶炉制造方法及图纸
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下载一种晶棒快速生长用冷却装置以及单晶炉的技术资料
文档序号:32045576
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本实用新型涉及一种晶棒快速生长用冷却装置,包括导热筒,导热筒内设有双层冷却油循环管路,导热筒的顶端一侧设有进口管,另一侧设有出口管,进口管与双层冷却油循环管路的进口端相通,出口管与双层冷却油循环管路的出口端相通,其中:导热筒为中空结构,晶棒...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。
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