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一种定义硅晶种以形成多晶硅层的方法，其包括：　　　　在一基板上形成一牺牲层；　　　　图案化该牺牲层，以在该牺牲层中形成一开口；　　　　在该牺牲层和该基板上形成一第一非晶硅层；　　　　蚀刻该第一非晶硅层，而于开口内留下硅晶种；　　　　除去该牺...
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