下载压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法的技术资料

文档序号:3204278

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提供一种压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法。该压电体元件,由振动板、下部电极、压电体膜和上部电极依次层叠而成,其特征在于:上述下部电极、上述上部电极和上述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成,上述振动板由金属氧化物构成,在上述振动板和上述...
该专利属于佳能株式会社;富士化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社;富士化学株式会社授权不得商用。

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