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本实用新型提供一种晶圆表面缺陷检测装置，所述晶圆表面缺陷检测装置中的射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，四种射灯能够发出不同颜色的光，使晶圆表面的缺陷能够明显呈现出来，即使通过人工目检的方式也能轻易识别出晶圆表面不同种类的缺陷...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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