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本发明提供一种蓝色发光二极管的制备方法，ａ．先向电阻率为３０－５０Ω.ｃｍ的Ｎ型单晶硅中注入能量为２０～５０ｋｅＶ、５×１０↑［１６］ｉｏｎｓ／ｃｍ↑［２］的碳离子；ｂ．再将已注入碳离子的Ｎ型单晶硅置于管式炉中，通入氢气或氮气或氩气，在８０...
该专利属于山东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东师范大学授权不得商用。

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