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一种高精度硅传感器芯片腐蚀装置，包括工业控制计算机、电器控制柜、反应室、ＫＯＨ储液罐、清洗液储液罐，其特征是计算机有ＣＲＴ触摸屏和作业控制程序，通过通讯接口与电控柜控制电路、反应室及管路上的阀、泵相连；反应室内置传动喷淋机构，其喷淋管通过液...
该专利属于沈阳仪表科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳仪表科学研究院授权不得商用。

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