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吸引保持输送机，利用吸引并保持载置于工作台上的基板（１）的吸引固定部件（６９），对载置于工作台（８４）上的基板（１）进行吸引、固定。支持部件（６１），用于支持该吸引固定部件。该吸引保持输送机具有距离调节机构（８２），可在吸引固定部件（６９）...
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