下载用于制作具有低K电介质性质的互连结构的方法的技术资料

文档序号:3203493

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提供了具有低K电介质性质的半导体结构的制作方法。在一实例中,在低K电介质绝缘体(102)中制作铜双重镶嵌结构(100),该低K电介质绝缘体(102)包括在其中限定特征元件(104)之前在该绝缘体上方形成压盖膜(110)。在铜形成于该特征元件...
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