下载一种用于模场转换耦合结构的制备方法及其制备结构的技术资料

文档序号:32033373

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本发明公开了一种用于光子芯片模场转换的多层耦合结构,耦合结构中的下层为锥形结构,上层为尺寸较大的光波导结构,在下层锥形结构中传输的光束逐渐转移至上层光波导结构中进行传输,实现了光子芯片与光纤之间的光束高效率传输,具有耦合损耗低、易于制备的优...
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