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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3203145
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本发明提供一种具有薄膜晶体管的半导体装置,该晶体管又具有在绝缘基板(100)上形成的多晶半导体薄膜(2)。该半导体装置,在半导体薄膜(100)内具有沟道区域(80)、分别位于沟道区域(80)两侧的源极区域(91)和漏极区域(92)。沟道区域...
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