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反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法技术
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文档序号:3203065
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本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中,用在反射光学系统中的反射镜设备具有:一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜;用于散热冷却的散热板,被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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