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本发明实施例提供一种使用卷积神经网络(Convolutional Neural Network；CNN)的虚拟量测方法。在本方法中，使用一动态时间规整(Dynamic Time Warping；DTW)演算法来删除不相似的制程数据，并将制程...
该专利属于郑芳田所有，仅供学习研究参考，未经过郑芳田授权不得商用。

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