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第二通信服务器（９３０）通过第一通信服务器（９２０）获得曝光装置（９２２↓［１］～９２２↓［３］）中调节单元的调节信息以及涉及当作基准的曝光条件下投影光学系统成像质量（如，波前像差）的信息，并根据该信息计算目标曝光条件下调节单元的最佳调节量...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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