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本发明公开了一种快速升温处理设备、其制造方法及温度调节方法。对衬底（１００）进行快速升温处理的快速升温处理设备，包括：支承衬底（１００）的衬底支承部件（１０２）、和测量快速升温处理中的衬底（１００）的温度的多个光学的高温测量器（１０５）。多...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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