下载一种具有高磁电阻效应的磁性隧道结的技术资料

文档序号:3202214

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本发明提供了一种具有高磁电阻效应的磁性隧道结及其制备方法。磁性隧道结由底电极层、反铁磁层、钴铁合金、绝缘层、金属钌层、顶电极层组成。本发明采用二氧化硅基片,通过等离子体溅射或磁控溅射、分子束外延生长手段制备成磁性隧道结。本发明的优点在于:巧...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。

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