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高精度模拟电路芯片制造方法技术
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文档序号:3202180
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一种高精度模拟电路芯片制造方法,其特征在于包括以下步骤: a.完成埋层、生长外延层、场注入、光刻阱区、阱区注入、光刻有源区、生长栅氧化层、有源区注入、淀积多晶硅、光刻多晶硅等工序; b.淀积金属; c.从同一批次的硅片中取...
该专利属于上海贝岭股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海贝岭股份有限公司授权不得商用。
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