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双波长线色散共焦显微探测方法与装置。本发明属于色散共焦位移测量领域，利用双波长色散共焦测量技术，结合物镜的色散特性和双波长分光探测与差分处理技术，实现样品表面位移信息的快速检测。本发明首次提出用波长分光装置将物镜收集的经样品反射的测量光束根...
该专利属于绍兴钜光光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴钜光光电科技有限公司授权不得商用。

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